YAS는 세계 최초 대면적 OLED 양산설비 제작 업체로, 독보적인 성능의 OLED System을 보유하고 있습니다.
OLED Panel 연구 개발용 증착 설비
고객 니즈에 최적화된 layout
Mobile, Lighting, Monitor, TV, AR/VR panel 등의 다양한 연구 개발에 응용
Vac. Robot을 사용하여 기판을 이송
FMM mask 증착이 가능한 고해상도 panel 연구용
다양한 기판 경로 설정이 가능하여 Process flexibility 확보
| Deposition System for Mobile OLED panel | |
|---|---|
| Type | Cluster / Mass Production |
| Tact Time / Capacity | ≤60sec / ~30k/M |
| Up Time | ≥ 192hrs |
| Glass transfer | Vac. robot |
| Deposition Type | Source scanning |
| Alignment accuracy | ≤ ±1.5㎛@FMM |
| Film thickness uniformity | LNS (Linear nozzle source) U/F : ≤ ±3% |
| Magnetic force | U/F : ≤ ±10% @200~350G |
터치 및 드래그로 내용 확인이 가능합니다.
OLED Panel 연구 개발용 증착 설비
고객 니즈에 최적화된 layout
Mobile, Lighting, Monitor, TV, AR/VR panel 등의 다양한 연구 개발에 응용
Chuck 또는 Tray을 사용하여 기판을 이송
Open mask 증착 Panel 연구용
빠른 tact time 및 설치 공간의 효율성